半导体mems是什么意思
产品中心 / 2023-11-02
半导体MEMS是什么意思? 半导体MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)是一种结合了微电子技术和微机械技术的新型技术。它利用微纳加工技术将微小的机械结构与电子元件集成在一起,实现了微小化、集成化和智能化的功能。本文将介绍半导体MEMS的概念、原理、应用以及未来发展方向。 1. 半导体MEMS的概念 半导体MEMS是一种将微小机械结构与半导体电子元件集成在一起的技术。它通过微纳加工技术,在半导体材料上制造出微小的机械结构,如微型传感器、微型执行器